超纯水是众多工业需要的生产原料及产品清洗用水,本文将针对在制备超纯水过程中,超纯水存在的TOC由来以及解决措施进行介绍。 超纯水中存在的TOC由来 1)原水:地表水中TOC含量很高,一般在1~2mg/L或更高,难于用其制备TOC<50μg/L的纯水。 2)脱气塔:许多地区的原水含HCO3或CO2高,必须进行脱气处理,脱气塔多数与大气接触,大气中的TOC含量高。 3)阴离子交换树脂污染:国内均采用复床或混床系统脱盐,阴离子交换树脂本身会使TOC浓度增加。 4)PVC焊接:大部分水系统管材都采用PVC材料,用焊条焊接,PVC材料及焊料均会引进TOC污染。 超纯水存在的TOC解决措施在EDI超纯水设备中,采取一些措施后能使水中TOC含量降低,如用TFCRO膜(薄层复合膜),TOC浓度由800μg/L下降到350μg/L,将PVC管道改为聚偏氟乙烯(PVDF)管道,TOC浓度由350μg/L下降到150μg/L。用超低压反渗透膜作为终端反渗透器,可降低TOC浓度,若进水TOC浓度为20μg/L,则出水的TOC浓度能降低到10μg/L。用EDI也能降低部分TOC浓度,当EDI进水中的TOC浓度为100~300μg/L时,EDI可将70%~80%的TOC氧化,20~30%的TOC可扩散到的浓室而被去除,只有0~5%的TOC残留在EDI的产品水中。 通过引进国外的水处理技术,且应用在个工业领域,得到了很好的评价及推广,供应的所有水处理设备都能够连续制备高品质超纯水,无需使用酸碱再生,其与传统混床离子交换技术相比,具有水质稳定、运行成本极低,且不需要经常再生等特点。
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